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MKP韩国原装质量流量计

MKP韩国原装质量流量计

更新时间:2019-12-18

产品特点:
MKP韩国原装质量流量计,分流器通道,流量调节阀门和放大器控制器等部分组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。

将传感器加热电桥得的流量信号送入放大器放大。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
产品介绍

MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器

系列是采用数字控制回路,即使大流量也保证了快速响应和高准确度,可以选择多种附加功能。

多气体多量程质量流量控制器 韩国MKP MARU5000

MKP质量流量控制器(Mass Flow Controller)

多量程、多气体

 

MARU 5000质量流量控制器

MARU 5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造,适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺,采用数字通讯回路,便于诊断和实时控制,具有良好的抗腐蚀性功能,可以使用不同的气体。

 

MKP韩国原装质量流量计优势:

通过表面EP处理,产品有优秀的抗腐蚀性

由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定

模拟与数字通讯都可用(Analog,RS485,DeviceNet ,Profibus)

MGMR功能(多气体,多量程)

 

产品参数:

MARU 5000  量程范围5sccm-50slm

流量测定范围:2%-100%满量程

精度:≤±0.35%满量程(5%-35% Flow Range)/≤±1%读数(35%-100% Flow Range)

响应时间:<1sec

重复性:≤±0.15%满量程

正常工作压力:50-300Kpa

最大工作压力:450Kpa

零点稳定性:<±0.5%F.S./年

温度系数:0.01%满量程/℃

泄漏率:1X10-11Pa.m³/sec(He)

阀门类型:常闭

密封形式:金属

数字接口:RS485,DeviceNet ,Profibus

信号类型:模拟0-5V,数字RS485,总线Devicenet、Profibus

电源:+15-24VDC

温度范围:5-50℃

预热时间:30min

材质:STS-316L电解抛光/真空退火(0.1um Ra)

 

 

全系列的快速响应时间

高**度和稳定性

密封应用

优化气门结构于有毒或易燃气体应用

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