honeywell气体质量流量传感器流量/压力范围：±200sccm;并行端口式。 AWM90000系列气体质量流量传感器采用久经时间验证的热桥技术。AWM90000系列不仅能够提供AWM1000系列的许多优良性能，而且传感器采用的平台更加经济实惠。有质量流量和差压两种版本可供选择。AWM92100V的流量范围为+/-200sccm，AWM92200